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美光公布DRAM路线:1ε用晶圆键合,后续节点上High-NA EUV

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AI 综述

美光公布DRAM技术演进路线:计划在下一代1ε工艺引入晶圆键合,并在后续ζÅ、ηÅ节点采用High-NA EUV光刻和新材料,同时开发vHBM、vEIM等垂直内存产品。 在产进度方面,美光称1γ已量产;1δ定于2027年下半年量产,位元密度提升约25%(mid-20%)。至于vHBM、vEIM和cHBM,公司尚未公布商用量产时间及架构细节。

AI 根据报道生成 · 3 小时前更新

报道时间线

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10月26日
  1. Tom's Hardware
    美光计划在 1ε DRAM 引入晶圆键合,后续节点采用 High-NA EUV,并开发 vHBM 与 vEIM 垂直内存

    美光公布 DRAM 演进路线,计划在 1ε 节点引入晶圆键合,在 ζÅ 和 ηÅ 节点采用 High-NA EUV 光刻和新材料,当前 1γ 已量产,1δ 定于 2027 年下半年量产、位元密度提升 mid-20%。

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