美光计划在 1ε DRAM 引入晶圆键合,后续节点采用 High-NA EUV,并开发 vHBM 与 vEIM 垂直内存
Micron plans to use wafer bonding and High-NA EUV for next-gen DRAM
AI 导读
美光公布 DRAM 演进路线,计划在 1ε 节点引入晶圆键合,在 ζÅ 和 ηÅ 节点采用 High-NA EUV 光刻和新材料,当前 1γ 已量产,1δ 定于 2027 年下半年量产、位元密度提升 mid-20%。
Micron plans to use wafer bonding and High-NA EUV for next-gen DRAM
美光公布 DRAM 演进路线,计划在 1ε 节点引入晶圆键合,在 ζÅ 和 ηÅ 节点采用 High-NA EUV 光刻和新材料,当前 1γ 已量产,1δ 定于 2027 年下半年量产、位元密度提升 mid-20%。