AMEC开始交付Primo Domingo高选择性刻蚀机

AMEC（中微公司）开始交付 Primo Domingo 气相高选择性刻蚀机。该设备面向 GAA、3D NAND 和 3D DRAM 器件，用于在纳米级 3D 结构中去除材料而不损伤邻近结构。 报道称，在实验室验证中该设备对 SiGe/Si 的选择性超过 700:1。目前客户尚未公开。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。