Tony Huang (@tphuang)· tphuang·· 3 小时前AI 评分60
AMEC 开始交付面向 GAA 与 3D 存储的 Primo Domingo 高选择性刻蚀机
AMEC has started delivery of Primo Domingo, gas-phase high-selectivity etcher. Designed for GAA, 3D NAND & 3D DRAM, specifically to remove material in...
AI 导读
AMEC（中微公司）开始交付 Primo Domingo 气相高选择性刻蚀机，面向 GAA、3D NAND 和 3D DRAM，用于在纳米级 3D 结构中去除材料而不损伤邻近结构。实验室验证中 SiGe/Si 选择性超过 700:1，作者好奇客户是谁。
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