Tom's Hardware 解析中国芯片无 EUV 制程的代价：DUV 多重曝光推高成本、降低良率
China can make advanced chips without EUV, but the bill keeps growing
AI 导读
Tom's Hardware 采访 Fractilia CTO Chris Mack 等专家，解析中国在没有 ASML EUV 光刻机的情况下如何用 DUV 多重曝光制造先进芯片。
Tom's Hardware 解析中国芯片无 EUV 制程的代价：DUV 多重曝光推高成本、降低良率