研究者提出GREP自监督框架预测CMP材料去除率

Jonathan Adam Rico 等研究者提出自监督注意力框架 GREP（Global Regression Pretraining），先用全局代理回归目标从无标签传感器信号学习时序表征，再经监督微调预测 CMP（化学机械平坦化）材料去除率（MRR），用于虚拟量测。 论文称，GREP 在最后一个时间区间的 RMSE 降低 17.0%；在不同标注数据比例下，其表现与基线大体相当。

AI 根据报道生成 · 2 小时前更新

还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。