三星与SK海力士争夺ASML EUV光刻机，单家投资上限或达20万亿韩元

据韩媒报道，三星电子与SK海力士正竞相订购ASML的EUV光刻设备以支撑先进DRAM扩产，各自投资上限或达20万亿韩元（约合人民币992亿元）。SK海力士今年3月已披露约11.95万亿韩元的EUV采购计划，用于向1c DRAM过渡；三星在平泽P4增设HBM4单晶DRAM生产线并已为P5工厂订购光刻设备。