光刻机概念活跃，波长光电涨超13%，佳能将发售KrF光刻机FPA-6400ES6a

11月13日光刻机概念表现活跃，波长光电涨超13%，张江高科、新莱应材、海立股份、茂莱光学、富创精密跟涨。消息面上，佳能宣布将于2026年12月上旬发售面向存储和逻辑芯片的KrF扫描式半导体光刻机FPA-6400ES6a，其通过新开发的超高加速度载台缩短驱动时间，具备每小时400片晶圆的产能。